[00298795]基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法
交易价格：
面议
所属行业：
自动化元件
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201310509538.0
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
黑龙江大学
进入空间
所在地：黑龙江哈尔滨市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法。目前，MEMS技术能量回收研究过程中，面临的微米尺度空隙悬臂梁上PZT薄膜制备难题，对实现能量收集器批量化生产存在制约。本发明方法包括：顶层PZT复合膜梁和两个底层支撑硅梁，所述的顶层PZT复合膜梁和底层支撑硅梁的两端分别连接质量块和固定块；其中，所述的顶层PZT复合膜梁包括PZT梁层，以及与所述的PZT梁层的上下层分别连接的上金属电极和下金属电极。本发明用于微电子机械器件。
摘要：基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法。目前，MEMS技术能量回收研究过程中，面临的微米尺度空隙悬臂梁上PZT薄膜制备难题，对实现能量收集器批量化生产存在制约。本发明方法包括：顶层PZT复合膜梁和两个底层支撑硅梁，所述的顶层PZT复合膜梁和底层支撑硅梁的两端分别连接质量块和固定块；其中，所述的顶层PZT复合膜梁包括PZT梁层，以及与所述的PZT梁层的上下层分别连接的上金属电极和下金属电极。本发明用于微电子机械器件。
