技术简介： 摘要：一种微颗粒生产设备以及生产方法，该微颗粒生产设备包括送液系统和铺球系统，该铺球系统包括导流板、铺颗粒台和X轴运动机构。该生产方法通过将待生产的微颗粒配置成悬浮液，使微颗粒悬浮…… 查看详细 >
技术简介： 一种基于可动栅极式场效应晶体管的微力传感器及其制备方法，结构包括由四根直梁支撑的中间质量块，中间质量块前端设置探针，中间质量块前后布置有平衡、工作栅极阵列，平衡、工作栅极阵列相对中…… 查看详细 >
技术简介： 一种超微锥电极阵列及其制备方法。首先对硅片进行干湿氧化形成SiO2膜，并采用正胶在上述SiO2膜光上刻出方形窗口；其次用TMAH溶液对上述SiO2膜方形窗口中裸露的硅片进行湿法刻蚀形成正四棱锥形凹…… 查看详细 >
技术简介： 一种毫微三级的跨尺度干粘附复合结构及其制备工艺，结构包括第一级底层倾斜的毫米级片状结构，在其的倾斜表面覆盖第二级微米级柱子阵列结构，第二级微米级柱子阵列的顶部设有第三级微米级蘑菇型…… 查看详细 >
技术简介： 一种基于液晶弹性聚合物的干粘附功能结构及制造工艺，功能结构包含两层结构，顶层为隆起状态的蘑菇状阵列结构，底层为高弹性模量聚合物的凹槽结构，制造工艺是先进行顶层蘑菇状阵列结构的制备，…… 查看详细 >
技术简介： 一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺，复合结构顶层为蘑菇状阵列结构，底层为周期性阵列结构的气阀板，气阀板和蘑菇状阵列结构通过一层低表面能材料粘结成为一个整体，气阀板的通孔与气压…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种基于铁氧体磁链的微波隔离器，包括若干软磁铁氧体柱，以及覆盖于软磁铁氧体柱上下表面的上金属板和下金属板，若干软磁铁氧体柱组成一个直角阵列，直角阵列由第一线阵列和第二线…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种S型小型化频率选择表面构成的宽频带透波结构，包括由多个结构单元构成的周期性阵列结构，每个结构单元包括介质基板、位于介质基板上表面的等效电容层和位于介质基板下表面的等…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：一种用于氮离子太赫兹特征谱线探测的滤波器谐振单元，由半绝缘砷化镓(SI‑GaAs)衬底和衬底上的金属层构成，半绝缘砷化镓(SI‑GaAs)衬底的厚度为0.63mm，金属层由依次形成在衬底上的5nm厚…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种基于折叠型基片集成波导的新型平面魔T，利用折叠型基片集成波导实现H面功分器，代替传统的槽线激励基片集成波导的T型结，实现了平面魔T。具有更小的泄露损耗，更大的功率容量，…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种基于基片集成技术的平面魔T，由上至下依次包含相互平行的顶层金属层、介质基板和底层金属层，顶层金属层为五边形，介质基板上分布有五列金属化通孔，五列金属化通孔呈放射状排…… 查看详细 >