[00260471]一种加工微米/亚微米尺度块体试样的方法
交易价格：
面议
所属行业：
自动化元件
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN200810017630.4
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
西安交通大学
进入空间
所在地：陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种加工微米/亚微米尺度块体试样的方法，该方法首先利用光刻蚀加工得到若干个微米尺度的块体试样“雏形”，三维尺寸相对于最终微米/亚微米块体试样尺寸有所盈余，然后利用聚焦离子束加工得到精确尺寸的微米/亚微米块体试样。该方法可广泛应用于具有合适腐蚀液的金属单晶、金属多晶及非晶微米/亚微米块体材料的加工。并且具有花费相对低廉、省时、宜于批量加工等优点。
本发明公开了一种加工微米/亚微米尺度块体试样的方法，该方法首先利用光刻蚀加工得到若干个微米尺度的块体试样“雏形”，三维尺寸相对于最终微米/亚微米块体试样尺寸有所盈余，然后利用聚焦离子束加工得到精确尺寸的微米/亚微米块体试样。该方法可广泛应用于具有合适腐蚀液的金属单晶、金属多晶及非晶微米/亚微米块体材料的加工。并且具有花费相对低廉、省时、宜于批量加工等优点。
