技术详细介绍
光学相控阵芯片能够控制光束空间扫描，在激光雷达、三维扫描、三维成像、激光测距等领域具有重要应用。本成果是一种硅和氮化硅混合光波导的，大角度扫描、窄发散角的光学相控阵芯片，集成了光耦合器、分束器、PN结型和热光型相位调制器、单波导双光栅单向辐射器等。目前光束发散角0.021度X0.027度，横向市场扫描角度可以达到140度，纵向通过调节波长，可以达到19度，点点切换时间30微秒，平均功耗小于1微瓦。
光学相控阵芯片能够控制光束空间扫描，在激光雷达、三维扫描、三维成像、激光测距等领域具有重要应用。本成果是一种硅和氮化硅混合光波导的，大角度扫描、窄发散角的光学相控阵芯片，集成了光耦合器、分束器、PN结型和热光型相位调制器、单波导双光栅单向辐射器等。目前光束发散角0.021度X0.027度，横向市场扫描角度可以达到140度，纵向通过调节波长，可以达到19度，点点切换时间30微秒，平均功耗小于1微瓦。