[00949616]准分子激光微细加工用的投影成像物镜
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技术详细介绍
该项目涉及一种准分子激光微细加工用的投影成像物镜，属于激光微加工及其应用技术领域。其特征在于由在镜座中按顺次方式共轴排列的3片球形石英透镜，其中第一片为取向不可逆的负透镜1，紧接依次排列的第二片正透镜2及取向不可逆的正透镜3。特征还在于采用了双面曲率为正的负透镜1，双面曲率左正右负的正透镜2，双面曲率为正的正透镜3。该实用新型的分辨率为2um，专门用于准分子激光波长区域（248nm），具有高的成像质量及高的能量透过率，可应用于准分子激光微加工掩模投影成像法。