[00922672]类金刚石薄膜性质的研究及其应用
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技术详细介绍
该成果系统地研究了类金刚石薄膜（ＤＬＣ）的制备、性质和应用，获得一系列的创造性的结果。中山大学改用丁烷作源，制得的薄膜性质更优越。该项目系统地研究ＤＬＣ膜的性质，包括力学性质、电学性质、光学性质、微生物学性质，还研究了工艺条件对薄膜性质的影响、退火效应等。结果表明，ＤＬＣ膜的性质密切依赖于制备条件，只有功率度适当时才能制得优质薄膜，氢的含量对薄膜性质有重要影响，退火实质上是改变氢的含量和薄膜的结构，ＤＬＣ膜是不长霉的无机物质。该成果已应用到磁盘上，使磁盘具有防霉、防水、防污、耐磨性能。