[00914373]柔性衬底ITO透明导电膜的研制
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技术详细介绍
透明导电膜是一种重要的光电子信息材料，在光电子及电子器件等方面有着广泛地应用。在有机柔性衬底上制备的透明导电膜不但具有硬质衬底透明导电膜的光电特性，而且具有可挠曲、重量轻、不易破碎、有利于电子器件的小型化和轻便化等独特优点，有望成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品。该项目以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)为衬底材料，以铟锡氧化物陶瓷材料为靶材，采用直流磁控溅射工艺，通过对薄膜厚度、溅射电流、氧气分压、衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能影响的调控，得到了具有低电阻率和可见光区高透过率的柔性透明导电膜。该工艺突破了国内在柔性衬底上制备ITO膜电阻率居高不下的瓶颈，课题组的该项研制成果总体指标在国内处于领先地位。该课题计划任务书中提出的技术指标为：电阻率＜9×10<'(-4)>Ω·cm，可见光透过率＞80%。实际达到的技术指标为：电阻率＜2×10<'(-4)>Ω·cm，可见光透过率＞80%。因此，课题组的该项研制成果总体上在国内是领先的。