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技术详细介绍
该椭偏仪是在国产手动椭偏仪的基础上设计研制的，增加了计算机控制的检偏器旋转系统及电子检测系统。其设计有利于产品的投产及已购手动椭偏仪的改装。该仪器在数据采集上采用光度检测技术，使测量速度与精度有很大提高。数值采集时间为０．１秒，比手动仪器高两个数量级以上。厚度测量重复性误差小于１ｎｍ，折射率误差小于０．００６。该仪器适用于多种载体表面的无机、有机及生物薄膜的测量，同时还配有多种椭偏参数反演分析程序，使椭偏仪的应用范围扩大，应用前景广阔。