[00903797]采用微型机的圆光栅分度误差实时检测系统
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技术详细介绍
“采用微型机的圆光栅分度误差实时检测系统”实现了微机与圆刻线机联机操作，能对圆光栅分度误差的实时检测和数据的快速处理，完成了精度计算，谐波分析，相关分析等，从而能对光栅质量与圆刻线机进行全面分析，显著地提高了检测作业的效率。该系统采用的“时间间隔比测量法”是一种新的检测方法，原理上是正确的，方法上是可行的。这种方法基本上消除了速度变化对测量过程的影响，提高了仪器的分辨率和测量精度，扩大了测量范围，在国内处于领先地位。该系统精度稳定，可靠，测量分辨率达到０．０１１角秒，观测值一次测量中误差达到０．０１９３秒。该系统成本低，制造容易，操作简便。