[00902058]用于潮湿水环境中的载荷传感器元件
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技术详细介绍
本发明公开了一种用于潮湿水环境中的载荷传感器元件,包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层；基底采用316L不锈钢材料制成,过渡缓冲层为CrNi膜,绝缘层为TiO_2膜,功能层为FeCrMn合金膜,防护层为Al_2O_3膜。本发明在潮湿水环境中,载荷传感器元件可以牢固地固定于试样上,相互之间连接呈无机质化,因而消除了零点漂移和蠕变,实现了温度自补偿,从而提高了载荷传感器元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。