[00898537]QGK405型高精度光电圆刻线机
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类型:
非专利
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技术详细介绍
计量圆光栅是现代微电子技术精密测角和控制用的重要基础元件之一。它广泛应用于精密测量仪器及工业自动化控制与检测、工业机器人、光电自动衡器等方面。由重庆大学研制的QGK405型高精度光电圆刻线机采用环形光导纤维束莫尔条纹全接收系统,使原始光栅误差减小30倍,他们在光电圆刻线机的设计中采用力矩电机直接驱动的空气静压轴系以及主轴转速数字锁相自调系统等均属国内首次应用。该机采用连续光刻的刻划精度:直径全中误差小于0.10角秒(光栅盘刻画中径230毫米、32768线),达到了国际先进水平。
计量圆光栅是现代微电子技术精密测角和控制用的重要基础元件之一。它广泛应用于精密测量仪器及工业自动化控制与检测、工业机器人、光电自动衡器等方面。由重庆大学研制的QGK405型高精度光电圆刻线机采用环形光导纤维束莫尔条纹全接收系统,使原始光栅误差减小30倍,他们在光电圆刻线机的设计中采用力矩电机直接驱动的空气静压轴系以及主轴转速数字锁相自调系统等均属国内首次应用。该机采用连续光刻的刻划精度:直径全中误差小于0.10角秒(光栅盘刻画中径230毫米、32768线),达到了国际先进水平。