[00894434]一种电容式微波功率传感器
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技术详细介绍
该发明是利用共面波导上传输的微波功率对MEMS悬臂梁的吸引导致梁的位移，通过测量悬臂梁与传感电极之间电容变化的方式测得共面波导上传输的微波功率的结构。相比而言，电容式微波功率传感器具有以下主要特点：悬臂梁结构对微波信号更加敏感，且悬臂梁自由端感应微波信号产生位移较之MEMS膜更大，因此可以提高灵敏度；悬臂梁结构几乎不消耗微波功率；悬臂梁结构更易于压焊块的引出；电容式微波功率传感器的制作无需特殊的材料并且与Si或GaAs MMIC工艺完全兼容。该发明实现了在材料、工艺、可重复性和生产成本等诸多方面的问题。电容式微波功率传感器结构为真正实现基于MEMS技术的功率测量结构在集成电路中的产业化应用提供了支持和保证。