[00889466]碲化镉薄膜快速沉积设备及技术
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技术详细介绍
该成果包含一种碲化镉薄膜的快速沉积设备及及技术。该设备利用蒸汽输运沉积的原理，采用了独特的向加热腔可控制地喷撒碲化镉粉的方法，通过加入碲化镉粉料的多少、腔室温度的高低、携带气体流量的大小、衬底玻璃平移速度的快慢，来控制薄膜的厚度和晶粒尺寸。该设备结构简单、产能大。该成果已经开发出了相应沉积技术。该成果可以使用于年产10兆瓦以上的碲化镉薄膜太阳电池组件生产线中碲化镉薄膜沉积的工序，投资规模大约为1500万元。