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技术详细介绍
基于超晶格材料设计、制造微制冷器，应用蒙托卡洛模型分析了声子在超晶格结构中传输的运动规律，优化硅锗超晶格的材料组份、几何尺寸及掺杂浓度，对声子的界面散射给出了定量模型，具有重大理论意义。发明了串联阵列式微制冷器，加工工艺与IC工艺兼容，有效地降低了结构体热传导系数，从而提高了器件制冷效率。为了提高制冷器件工作的可靠性，设计制造了串并联混合式微制冷器，建成了纳米薄膜热物性测试台。测量膜厚范围从10纳米至三千纳米。设计搭建了评价微制冷器制冷效率的实验台，从而实现从器件级评价热电材料的热电品质。应用对象上，在国内，课题组与长电科技集团(国内最大半导体分离器件厂)合作，从事固态发光器的散热问题的研究。同时，课题组保持与Intel公司的合作，深化自冷却芯片的设计、制造与封装，争取课题组的制冷器早日从实验室走向产业界。