[00870282]微结构可调控纳米半导体薄膜低温制备新技术及装置开发
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技术详细介绍
研究主要内容包括：高稳定性纳米氧化物半导体溶胶的可控制备技术；新型真空喷涂成膜装备开发及结构参数优化；微结构可调控纳米半导体薄膜低温制备技术；纳米半导体薄膜微结构分析及薄膜性能研究。取得的主要成果包括：设计并搭建了国内首台真空喷涂装置；获得TiO<,2>纳米晶、ZnO纳米晶、SnO<,2>纳米晶形貌晶型可控制备的有效途径；利用真空喷涂装置低温构建了具有光电性能的多孔、叠层和复合的半导体氧化物薄膜。通过该项目的研究，共发表SCI、EI等；论文5篇，申请国家发明专利3项，培养了1名博士研究生和4名硕士研究生。