[00859519]YZ-1型硅压阻型集成压力传感器
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技术详细介绍
本新产品是硅压阻集成压力传感器，可用于近程或远程流体压力的测定、显示，进而达到自控之目的，测压量程为0～1MPa。适用温度范围为 -10～50℃或 -20～40℃，以（100）硅片为基础材料，背面经各向异性腐蚀后产生方形杯，杯底构成弹性膜。由于采用方形膜及有限力学优化设计，力敏电阻布置合理，充分利用应力效应，获得最佳的灵敏度及承压能力之积。因此本产品有远比国内同类产品更大的满量程输出，又在芯片上采用温度和压力补偿电路，使本成品有小的零点漂移和灵敏度系数及小的非线性度和机械滞后，从而提高了测压精度，各向异性腐蚀工艺比机械研磨杯工艺简单，生产率高使产品的成本大幅度降低。