[00845231]多MEMS传感器测控系统及其在安防和勘察无人飞行器中的应用

该成果属于先进制造与重大装备学科。MEMS器件及其测控系统是微小无人机等智能机器人的核心，该成果研究了MEMS器件及工艺、多MEMS传感器测控系统、实用化微小无人机等技术，首次实现了基于国产MEMS器件的自动驾驶仪，研制了微型测姿仪、微型空速计以及微光机电相结合的传感测量系统，水平超过国外同类产品；研制了安防和勘察微小无人机系统，支持了北京市相关企业的发展，为中国MEMS产业和大量应用的发展提供了经验。该成果在基于MEMS的测控系统、微小无人机设计制造、测绘安防应用三个领域实现了突破，实现了MEMS器件设计与制备和多MEMS传感器的测控系统设计，微光机电相结合的载体信息测量技术，微型无人机设计技术，实用化无人机系统等5项创新技术。该成果已培养硕士25人，博士(后)22人，获得发明专利7项，登记软件著作权3项，并发表学术论文多篇，其中SCI收录21篇、EI收录117篇。成果推广应用迅速，促进了行业科技创新，经济社会效益显著。微型飞行器成功应用于城市安防、国土测绘、农林勘察等领域，并参与重大活动安保工作。实现了无人机云下摄影，航片满足11000-12000地形图成图精度要求；研制的MEMS测控系统俯仰角和滚转角测量精度为0.5°，航向角为0.7°。从MEMS器件制备到测控系统集成，从多MEMS传感器测控系统到无人机系统，从常规监测到灾害应急信息快速获取，从静态目标监察到动态目标跟踪拦阻，整体成果构建了MEMS测控系统及其应用的体系，已交付用户产品200余套。