[00797157]半导体测试技术中四探针理论与应用
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本项目应用改进的范德堡公式，进行测量，只要将探针尖置于测试图形的角区，不要求重复测量时针尖位置的一致性，探针有小的游移不影响测量结果。应用适合于方形探针的改进的Rymaszewski公式，只要探针尖构成的四边形的二对角线差小于35%边长，从电学基本理论出发证明小游移时Rymaszewski公式成立。用四探针测定了Au bump-TiW-Al引线窗结构的接触电阻率与退火温度的关系。提出降低该结构的内应力最高稳定化退火温度为350℃。在国际首次测定了激活能。在国际上首次将图像识别技术应用于四探针的自动定位。