[00743948]CMOS/SOI电路研制和模拟软件开发
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技术详细介绍
研制成功了用于地球遥感卫星的有效沟道长度为0.8μm的600门CMOS/SOI门阵列专用集成电路，各项性能指标满足用户提出的要求，现在正在进行辐照加固实验研究。研制出了沟道长度为0.8μm的51级CMOS/SOI环形振荡器，其单级门延迟时间仅为83ps，是国内最高水平。还开发了可以模拟沟道长度在0.15μm的深亚微米SOI器件电路模拟软件，与科研组自行研制的有效沟道长度为0.15μm凹陷沟道薄膜全耗尽SOI器件的实验结果对照发现，与实验结果吻合得很好，该部分结果已经进入世界先进水平行列。应用及推广前景：CMOS/SOI专用集成电路将用于航天工业总公司的地球遥感卫星中。CMOS/SOI电路模拟软件已经推广到航天工业总公司771所、772所、西北核技术研究所等使用。CMOS/SOI工艺技术准备向47所、华晶中央研究所、北京半导体器件三厂等转移进行小批量生产，SOI技术在高可靠领域具有极为广阔的应用前景。