[00743126]场发射电子显微镜和能量分析仪
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技术详细介绍
该成果将场发射电子显微镜(FieldEmitssonMicroscope，FEM)和场发射电子能量分析仪(FieldEmittedElectronEnergyAnalyzer，FEEA)结合一体，以适应各种场致发射电子研究的需要。应用领域和技术特点具有场发射电子显微镜(FEM)、场发射电子能量分析仪(FEEA)及其组合的各种功能，适用于对各种材料和器件，包括纳米材料和器件，电子发射性能的研究。基本技术指标显微分辨率2nm能量分辨率20mV电子激发方式直流电压、脉冲电压、激光基本真空度优于10-7Pa技术成熟度填补国内空白的设备和产品。经济社会效益分析同类进口产品价格不低于50万美元，该设备成本仅60万人民币。合作方式合作开发、技术服务、技术转让、技术入股等。