[00737982]准分子激光电化学微制造生产线关键技术
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技术详细介绍
针对MEMS技术对微结构的特征尺寸的要求越来越小、深宽比的要求越来越高、表面质量要求越来越高的实际，该项目将准分子激光加工工艺和传统的电化学加工工艺相结合，在大量实验的基础上，对工艺参数进行了分析，并在N型<100>Si材料上加工出特征尺寸小于20微米的微孔。对于特征尺寸为50微米的小孔，其深宽比达到17：1；采用该工艺的加工速度可达每秒钟2微米；采用该工艺可以大大减小激光热作用对材料组织和性能的影响。该工艺还可以提高金属材料的电化学刻蚀速度。该工艺在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等其他领域也有潜在的产业化应用前景。申请发明专利2项，发表文章7篇。该项目的成果以实现特征尺寸小、深宽比大和表面质量好的微结构制造为目的，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等其他领域也有潜在的产业化应用前景。