[00704462]电视机用重掺硅外延片内吸除技术研究
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技术详细介绍
该研究采用符合法弹性前冲技术，以２７Ｍｅｖ〈’ＩＺ〉Ｃ作为入射粒子，在计算出实验条件下卢瑟福散射截成和有效电荷后，从散射粒子的能谱得到重掺锑硅中氧含量，找到一种无本底影响测量重掺锑硅中氧含量的方法，结果准确，灵敏度高，可用于标定其它方法，实验结果证实，重掺锑硅中氧的固溶度降低，使得氧含量降低４０％左右。考虑Ｎ型掺杂剂和抑制硅中氧沉淀，且重掺锑硅中氧含量降低，因此重掺锑硅片不能沿用普遍直拉硅的内吸除（ＩＧ）退火工艺。该研究提出低温成核，高温台阶退火工艺，形成了理想的ＩＧ结构，提高了外延层质量，二次离子质谱测试表明，ＩＧ效果好。该研究在国内、外首次采用符合法弹性前冲测试技术，较准确地测定了重掺锑硅中氧含量，该检测方法达到国际先进水平。