[00696509]NiTi/PZT多层薄膜复合工艺及智能阻尼功能研究
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技术详细介绍
通过采用Sol-Gel法以控制热处理工艺，在NiTiSMA薄膜基体上制备出了NiTi/PZT多层薄膜复合材料；研制出的复合材料经晶化退火后NiTi与PZT异质间存在二氧化钛+富Ni区过渡结构，依此，NiTi与PZT之间具有了良好结合。材料的阻尼性能测试结果表明，相对于自由态NiTiSMA，性能复合效应明显，阻尼性能大幅提高。所研制的材料可用于精密仪器制造业、微电子机械系统等的阻尼结构。以此材料为基础可开发出其他功能复合材料，如新型微传感、微驱动材料等。