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技术详细介绍
本发明公开了一种微波谐振腔体，该微波谐振腔包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽，密封槽中设有密封圈，密封圈上固定有介质窗，介质窗和法兰盘内壁之间设有固定橡胶圈，介质窗上设有无磁托盘，该无磁托盘与同轴波导内导体之间通过扼流圈连接。法兰盘上外缘与同轴波导的外导体的下外缘通过螺纹连接，法兰盘下外缘与工艺室上外缘通过螺纹连接。本发明具有微波电场分布均匀、腔体加工尺寸大，拆卸维修方便的优点，可用于为电子回旋共振等离子体设备提供微波电场。专利号：200710018521.X。