[00677440]纳米二氧化锡传感器件的制造方法
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技术详细介绍
该项目研究了纳米二氧化锡传感器件的制造方法。该项目成果属于半导体工业领域，主要采用AFM微细加工技术，在控制探针尖端电压和扫描方式条件下以及在水分子存在的条件下，对物质表面进行局部阳极氧化，从而加工得到纳米结构和纳米器件。采用自主开发工艺制造的纳米线传感器件，具有常温工作、低功耗、高灵敏度、高选择性等优点，可用于环境、生物、半导体工业等领域的检测。该项目产品是自主创新产品，功耗低、实用可靠且性能价格比高、竞争能力强，产业化前景十分广阔。