[00641394]计算机辅助诊断技术在高可靠七专线中的应用
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技术详细介绍
该项研究内容为：①“汉化”的集成电路工艺参数采集系统，设计了相应微电子测试图，可监测集成电路管芯生产中各工序工艺参数及其统计分布情况；②“汉化”的晶体管特性数据自动采集和模型参数提取系统，供电路模拟程序使用；③集成电路生产中各种计数值、计量值控制图的自动绘制和工艺受控状况自动分析软件（汉化）；④工艺、器件模型参数相关性分析、电路统计模拟和成品率分析软件。上述内容由一台微机控制，构成一套计算机辅助诊断系统，可用于集成电路研制、生产中的工艺监测、质量分析、管理，有利于及时发现工艺中的问题，保证集成电路的成品率和可靠性。