[00381290]Sol-Gel法制备SrTiO3双功能薄膜器件

用XRD、SEM等进行了测试，所制备的SrTiO3纳米粉尺寸达到了技术要求：1～50nm，优化出了用Sol-Gel法制备SrTiO3薄膜器件的工艺条件；利用最佳工艺制备出具有良好电容—电压敏感双功能特性的SrTiO3薄膜器件；在理论上用Materials软件对实验结果进行模拟计算分析，得到了掺杂对性能的影响机理。一方面，由于溶胶—凝胶方法的优点，使元件的最后煅烧温度大为降低，且工艺更加简化，具有明显的节省能源的优势，考虑对SrTiO3双功能器件的需求，其经济效益更为可观。另一方面，同时在利用溶胶—凝胶方法制备SrTiO3材料过程中，所使用的原材料皆为无毒、无公害材料，制备过程中也无有害物质产生，因此，利用溶胶—凝胶方法制备SrTiO3双功能材料与器件，对节省能源、保护环境具有重要的作用和意义，对提高中国和该省的科技水平及经济实力都具有重要的作用。SrTiO3双功能器件是电子设备和电子系统中低电压保护的首选器件，特别是在消除电子线路中宽频电噪声以及抑制电子系统中微型电机的电刷与整流子之间的尖峰电压方面具有不可替代的作用。仅以中、高档视听设备为例，在一套视听设备中一般要用几个至十几个双功能元件(国内生产的中、高档视听设备中所使用的双功能元件主要依靠进口或用ZnO压敏器件替代，这也是中国生产的视听设备质量较差、档次不高的主要原因之一)，那么仅就全国中、高档视听设备生产一项，每年约需几亿只双功能元件，年产值可达千万元。