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技术详细介绍
该实用新型属于微结构微细加工技术领域，具体涉及一种用于对激光束、离子束或电子束微细加工中，蚀刻深度进行实时检测的蚀刻深度传感器。其目的在于提供一种可对蚀刻深度进行实时检测，并提高测量精度的蚀刻深度传感器。该实用新型主要由激光器、固定支架、敏感元件、光电转换器及接口与显示电路组成。当激光器发出的激光束照射敏感元件时，基于激光干涉原理，在敏感元件的照射面将形成干涉条纹，当敏感元件的另一表面被蚀刻时，其照射面的干涉条纹将移动，条纹的移动与蚀刻深度问有确定的关系，从而将蚀刻深度信息转化为光学信息，光学信息再经光电转换器转化为电信号输出。在该实用新型中，采用带成像透镜的电荷耦合器件作光电转换器，对干涉条纹的移动距离进行检测，有很高的分辨率可达1/150个条纹(而激光光谱法测量中测量的是光谱的光强，精度较低)，因此，该实用新型的测量精度较高，测量相对误差优于1％。