[00341244]一种用于纳米印花的膨胀聚合压印胶
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技术详细介绍
一种用于纳米压印的膨胀聚合压印胶。 制备膨胀聚合反应压印胶所需的原料包括低聚物和膨胀单体。 与现有技术相比， 将膨胀单体引入到用于纳米压印的膨胀聚合压印胶中后， 所述膨胀单体可与低聚物聚合，聚合后压印胶的体积变化可调，从而降低甚至消除压印胶固化后的体积收缩； 并且通过调节膨胀单体的含量，可以得到固化收缩或体积膨胀为零的压印胶。 本发明的压印胶能够有效降低微纳米图案中的残余应力，在实现精确图案复制的同时，减少了纳米压印脱模过程中残余应力导致的图案缺陷的产生。