[00338392]一种抛光液及其制备方法和用途
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技术详细介绍
本发明涉及一种化学机械抛光液及其制备方法和用途，所述抛光液包含磨粒、分散剂、氧化剂、缓蚀剂、pH调节剂、稳定剂及溶剂。本发明利用无机填料磷酸锆作为抛光磨粒。这种型抛光新材料与传统的片状氧化铝相比，分散性更好，稳定性高，沉降效果不明显。此外磷酸锆具有二维片层状结构，受到外力时会产生定向排列从而优化磨粒的取向，这样优化后的抛光磨粒在抛光过程中更加稳定，产生的划痕更少，整个抛光体系更加稳定，可达到更好的抛光效果。