[00336173]一种MOCVD设备的进气装置及MOCVD设备
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
发明专利
技术成熟度：
通过小试
专利所属地：中国
专利号：CN201410558174.X
交易方式：
资料待完善
联系人：
佛山市中山大学研究院
进入空间
所在地：广东佛山市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种MOCVD设备的进气装置及MOCVD设备，进气装置内部设有相互隔离的第一腔体和第二腔体；第一腔体沿进气装置的直径方向设置，在第一腔体上竖向设有多个第一气体进气管，第二腔体位于第一腔体两侧，第二腔体内横向设有第二气体进气管道，第二气体进气管道贯穿进气装置侧壁，第二气体进气管道的管壁上设有多个喷孔；第二腔体上竖向设有多个第三气体进气管，第二气体与第三气体在第二腔体内混合后向下移动，进气装置的底面为第一过滤网，第一气体、第二气体和第三气体穿过第一过滤网向下流动。本发明进气装置的气体管道架构简洁，进气易控制，降低了设备制造成本及难度，提高了气体均匀性以及薄膜生长的均匀性和稳定性。
摘要：本发明公开了一种MOCVD设备的进气装置及MOCVD设备，进气装置内部设有相互隔离的第一腔体和第二腔体；第一腔体沿进气装置的直径方向设置，在第一腔体上竖向设有多个第一气体进气管，第二腔体位于第一腔体两侧，第二腔体内横向设有第二气体进气管道，第二气体进气管道贯穿进气装置侧壁，第二气体进气管道的管壁上设有多个喷孔；第二腔体上竖向设有多个第三气体进气管，第二气体与第三气体在第二腔体内混合后向下移动，进气装置的底面为第一过滤网，第一气体、第二气体和第三气体穿过第一过滤网向下流动。本发明进气装置的气体管道架构简洁，进气易控制，降低了设备制造成本及难度，提高了气体均匀性以及薄膜生长的均匀性和稳定性。
