[00333551]一种电射流掩膜加工系统及其喷头
交易价格：
面议
所属行业：
机床
类型：
发明专利
技术成熟度：
通过小试
专利所属地：中国
专利号：CN201720253906.3
交易方式：
资料待完善
联系人：
厦门立德软件公司
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所在地：
- 服务承诺
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-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型公开了一种电射流掩膜加工用喷头，包括筒形喷头主体，喷头主体的一侧壁上沿其延伸方向均匀设有N个进水口，喷头主体的另一侧壁上沿其延伸方向均匀设有2N个出水口，出水口的延伸方向可垂直于待加工区域，并且每一个进水口可投影于对应的两个出水口中间。本实用新型所提供的电射流掩膜加工用喷头，可以保证同时加工出来的微结构有较好的一致性，保证同时加工而成的微结构具有相同的加工形貌，降低检测难度，并且，该喷头可以同时加工出多个区域，能够有效的提高加工效率。本实用新型还公开了一种包括上述电射流掩膜加工用喷头的电射流掩膜加工系统。
本实用新型公开了一种电射流掩膜加工用喷头，包括筒形喷头主体，喷头主体的一侧壁上沿其延伸方向均匀设有N个进水口，喷头主体的另一侧壁上沿其延伸方向均匀设有2N个出水口，出水口的延伸方向可垂直于待加工区域，并且每一个进水口可投影于对应的两个出水口中间。本实用新型所提供的电射流掩膜加工用喷头，可以保证同时加工出来的微结构有较好的一致性，保证同时加工而成的微结构具有相同的加工形貌，降低检测难度，并且，该喷头可以同时加工出多个区域，能够有效的提高加工效率。本实用新型还公开了一种包括上述电射流掩膜加工用喷头的电射流掩膜加工系统。
