[00333463]高速高精直线驱动并联XY平台
交易价格：
面议
所属行业：
铸造/热处理
类型：
发明专利
技术成熟度：
通过小试
专利所属地：中国
专利号：CN201320746432.8
交易方式：
资料待完善
联系人：
厦门立德软件公司
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所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型提供了一种高速高精直线驱动并联XY平台，涉及超精密定位设备领域，包括平台基座、分别固定在所述平台基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安装在第一基座上的第一直线电机、固定安装在所述第二基座上的第二直线电机以及位于所述第三基座上方的动平台，所述动平台分别与所述第一直线电机和第二直线电机连接，所述第一直线电机驱动所述动平台沿X轴向运动，所述第二直线电机驱动所述动平台沿Y轴向运动，所述动平台和所述第三基座之间设有气浮垫,所述气浮垫与所述动平台固定安装。本实用新型的高速高精直线驱动并联XY平台结构简单、刚度高。
本实用新型提供了一种高速高精直线驱动并联XY平台，涉及超精密定位设备领域，包括平台基座、分别固定在所述平台基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安装在第一基座上的第一直线电机、固定安装在所述第二基座上的第二直线电机以及位于所述第三基座上方的动平台，所述动平台分别与所述第一直线电机和第二直线电机连接，所述第一直线电机驱动所述动平台沿X轴向运动，所述第二直线电机驱动所述动平台沿Y轴向运动，所述动平台和所述第三基座之间设有气浮垫,所述气浮垫与所述动平台固定安装。本实用新型的高速高精直线驱动并联XY平台结构简单、刚度高。
