[00333426]同轴宏微复合直线运动平台装置
交易价格：
面议
所属行业：
通用零部件
类型：
发明专利
技术成熟度：
通过小试
专利所属地：中国
专利号：CN201210055122.1
交易方式：
资料待完善
联系人：
厦门立德软件公司
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所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置，该装置的宏动平台采用气浮导轨导向，直线电机驱动，光栅尺检测位置精度；宏动平台带动微动平台；微动平台由整体金属板切割加工出四周框架、内部的微动平台和起连接以及导向作用的柔性铰链，框架固定在宏动平台上；微动平台和宏动平台之间通过气浮消除摩擦阻力；微动平台和宏动平台的运动方向同轴；微动平台通过柔性铰链与框架实体连接；柔性铰链对称分布，通过材料的微量弹性弯曲变形，确保微动平台的导向和移动，压电陶瓷驱动器或音圈电机提供微动平台移动的动力，微动传感器感应微动平台的位移，从而实现微动平台的高精度位移和定位。
本发明公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置，该装置的宏动平台采用气浮导轨导向，直线电机驱动，光栅尺检测位置精度；宏动平台带动微动平台；微动平台由整体金属板切割加工出四周框架、内部的微动平台和起连接以及导向作用的柔性铰链，框架固定在宏动平台上；微动平台和宏动平台之间通过气浮消除摩擦阻力；微动平台和宏动平台的运动方向同轴；微动平台通过柔性铰链与框架实体连接；柔性铰链对称分布，通过材料的微量弹性弯曲变形，确保微动平台的导向和移动，压电陶瓷驱动器或音圈电机提供微动平台移动的动力，微动传感器感应微动平台的位移，从而实现微动平台的高精度位移和定位。
