[00328819]LED芯片生产用MOCVD裸露式电加热器
联系人：祝俊
所在地：江苏镇江市
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技术详细介绍
本成果针对LED芯片生产用MOCVD设备中的裸露式电加热器存在的温度均匀性差、寿命短、可靠性低、传热热阻大等问题，采用新型的结构设计与材料组合，较好地解决了上述问题，使之完全适应高温、强还原性的工作条件。
性能指标
（1）传热效率提高5~10%。
（2）温度均匀性提高30~40%。
（3）使用寿命提高50~100%。
适用范围、市场前景
适用范围：各种LED芯片（流延片）生产用MOCVD装置。
市场前景：LED是新型的高效照明光源，属于重要的节能技术之一，我国近年发展速度很快，MOCVD装置保有量世界第一，但对国外设备的依赖程度很高。本成果所涉及的裸露式电加热器以及反应气体喷淋头是LED芯片生产用MOCVD装置的二大关键部件，而裸露式电加热器也是故障率最高的部件，单件价格很高，对于LED生产的产量、质量和成本影响显著。因此，研究、开发及生产这种裸露式超高温电加热器很高的技术水准和很好的经济效益。