[00319183]微纳压电位移台
联系人：程廷海
所在地：吉林长春市
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技术详细介绍
微纳压电位移台
微纳驱动技术在众多领域有着越来越广泛的应用，如精密光学仪器、微纳米制造装备、生物医疗工程，在原位微纳米压痕 / 划痕测试设备中应用尤为突出。利用压电式微位移致动器或微位移驱动平台，实现高精度定位和运动控制是微纳驱动领域的关键技术之一。当前压电位移台因无法实现驱动过程中对摩擦力的综合调控，存在大行程、高精度与高负载等特性难以同时满足的问题，严重制约了压电位移台的发展与应用。因此，研发一种新型压电粘滑驱动技术，研制一种可满足大行程、高分辨与高负载输出能力的压电位移台，以满足商业化的需求显得尤为紧迫。
研发团队采用柔性铰链机构与压电叠堆相结合，设计了开发铰链式压电粘滑驱动器，将控制单元和检测单元与驱动器集成研发压电位移台，形成了铰链式压电粘滑驱动器的驱动理论，掌握了压电粘位移台的设计方法，研制开发出不同原理和结构的 20 余台（套）压电驱动器样机。
样机技术指标 ：平台运动行程大于 10mm，定位精度小于 50nm。
所研发的压电位移台具有结构紧凑、行程大、精度高、输出速度快、推力大、负载能力强等优点，技术指标达到国际先进水平。项目涉及的核心技术完全拥有自主知识产权，并获国家专利授权，可实现压电位移台的工程化与产业化。
