本发明公开了一种薄膜固体电解质材料及其制备方法,其结构为Li‑(Mn1‑xM1x)‑(Ti1‑yM2y)‑O表示,其中x满足0≤x<1的关系,y满足0≤y<1的关系,上述M1选自La、Sr、Na、Nd、Pr、Sm、Gd、Dy、Y、Eu、Tb、Ba中的至少一种,M2选自Mg、W、Al、Ge、Ru、Nb、Ni、Ta、Co、Fe、Zr、Hf、Fe、Cr、Ga中的至少一种。
该薄膜固体电解质是经溶胶凝胶法或射频磁控溅射的方法制得。
该薄膜固体电解质具有较高的Li离子导电率,较低的电子导电率和良好的热力学稳定性,特别适用于生产固体锂离子电池。