[00300301]逆导型SOI LIGBT器件单元
交易价格:
面议
所属行业:
其他电气自动化
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201010197471.8
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
杭州电子科技大学
进入空间
所在地:浙江杭州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明涉及一种逆导型SOI LIGBT器件单元。常规的SOI LIGBT由于没有集成反向续流器件,不具备逆向导通功能。本发明包括半导体衬底、隐埋氧化层、缓冲区、漂移区、阱区、阱接触区、源区、栅氧化层;其中隐埋氧化层将半导体衬底和顶层器件层完全隔离,顶层器件层分为缓冲区和漂移区,内部沟槽隔离氧化层将顶层器件层隔离成主器件部分和续流二极管部分;主器件部分上设置有主器件阳极接触区、主器件阳极短路点区,续流二极管部分设置有续流二极管阴极接触区。本发明由于将反向续流二极管集成在SOI LIGBT器件单元结构之中,无需外接任何器件就具有逆向导通能力,有利于节省资源、降低能耗。
摘要:本发明涉及一种逆导型SOI LIGBT器件单元。常规的SOI LIGBT由于没有集成反向续流器件,不具备逆向导通功能。本发明包括半导体衬底、隐埋氧化层、缓冲区、漂移区、阱区、阱接触区、源区、栅氧化层;其中隐埋氧化层将半导体衬底和顶层器件层完全隔离,顶层器件层分为缓冲区和漂移区,内部沟槽隔离氧化层将顶层器件层隔离成主器件部分和续流二极管部分;主器件部分上设置有主器件阳极接触区、主器件阳极短路点区,续流二极管部分设置有续流二极管阴极接触区。本发明由于将反向续流二极管集成在SOI LIGBT器件单元结构之中,无需外接任何器件就具有逆向导通能力,有利于节省资源、降低能耗。