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[00297178]锰酸钇薄膜台阶低能耗阻变存储器及其制备、使用方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610080392.6

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 河南大学

进入空间

所在地:河南开封市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明公开了一种锰酸钇薄膜台阶低能耗阻变存储器,包括Pt/TiO2/SiO2/Si复合衬底层和设置在Pt/TiO2/SiO2/Si复合衬底层上表面的YMO薄膜台阶层,YMO薄膜台阶层包括YMO薄膜厚层和YMO薄膜薄层,YMO薄膜台阶层的上表面设置有金属上电极层,Pt/TiO2/SiO2/Si复合衬底层中的Pt层作为下电极层。本发明具有工作特性高度稳定、低能耗、可反复循环使用的优点,能够有效克服信息存储过程中产生的耗电和散热问题,同时具有优良的循环耐受性、保持特性和擦写速度。
摘要:本发明公开了一种锰酸钇薄膜台阶低能耗阻变存储器,包括Pt/TiO2/SiO2/Si复合衬底层和设置在Pt/TiO2/SiO2/Si复合衬底层上表面的YMO薄膜台阶层,YMO薄膜台阶层包括YMO薄膜厚层和YMO薄膜薄层,YMO薄膜台阶层的上表面设置有金属上电极层,Pt/TiO2/SiO2/Si复合衬底层中的Pt层作为下电极层。本发明具有工作特性高度稳定、低能耗、可反复循环使用的优点,能够有效克服信息存储过程中产生的耗电和散热问题,同时具有优良的循环耐受性、保持特性和擦写速度。

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