[00293486]一种快速检测显影液显影效力的方法
交易价格：
面议
所属行业：
检测仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201410765178.5
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
华南师范大学
进入空间
所在地：广东广州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种快速检测有机或碱性显影液显影效力的方法，首先通过在同一显影条件下，通过测量显影不同片数基板时对应的显影液电导率，得到显影液电导率与显影片数的关系曲线，即标准曲线；然后结合显影工艺的参数控制，通过计算获得具有适宜显影效力的显影液的电导率值，作为目标电导率；测量显影液的实际电导率，与目标电导率进行对比，判断显影液的显影效力；根据设定的标准显影时间以及标准曲线估算下次测量时间；及测量的实际电导率值超出或等于目标电导率时，更换新鲜显影液。有效降低了显影液的更换更换频率，同时降低了不良产品出现的几率，节约成本，提高良率。
摘要：本发明公开了一种快速检测有机或碱性显影液显影效力的方法，首先通过在同一显影条件下，通过测量显影不同片数基板时对应的显影液电导率，得到显影液电导率与显影片数的关系曲线，即标准曲线；然后结合显影工艺的参数控制，通过计算获得具有适宜显影效力的显影液的电导率值，作为目标电导率；测量显影液的实际电导率，与目标电导率进行对比，判断显影液的显影效力；根据设定的标准显影时间以及标准曲线估算下次测量时间；及测量的实际电导率值超出或等于目标电导率时，更换新鲜显影液。有效降低了显影液的更换更换频率，同时降低了不良产品出现的几率，节约成本，提高良率。
