[00293478]一种硅基光栅耦合器
交易价格：
面议
所属行业：
光学仪器
类型：
实用新型专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201520845532.5
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
华南师范大学
进入空间
所在地：广东广州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种硅基光栅耦合器，所述耦合器包括一绝缘体上硅芯片和光纤，光纤垂直放置在绝缘体上硅芯片的上方；绝缘体上硅芯片由顶硅层、掩埋绝缘体层、硅衬底组成，顶硅层表面制作有一段硅光波导，硅光波导包括依次相连的第一贴合段、倾斜段和第二贴合段，第一贴合段贴合固定在掩埋绝缘体层之上，从第一贴合段和倾斜段相交位置开始，顶硅层下方的掩埋绝缘体层被腐蚀掏空，于是第二贴合段贴合固定在硅衬底上，倾斜段上制作有耦合光栅，光纤放置在耦合光栅的上方。采用这种结构的光栅耦合器与外部光纤进行耦合，不仅降低了二阶反射，提高了耦合效率，而且由于其制作方法简单和垂直耦合的特性更加便于芯片的检测与封装，便于大规模集成。
摘要：本实用新型公开了一种硅基光栅耦合器，所述耦合器包括一绝缘体上硅芯片和光纤，光纤垂直放置在绝缘体上硅芯片的上方；绝缘体上硅芯片由顶硅层、掩埋绝缘体层、硅衬底组成，顶硅层表面制作有一段硅光波导，硅光波导包括依次相连的第一贴合段、倾斜段和第二贴合段，第一贴合段贴合固定在掩埋绝缘体层之上，从第一贴合段和倾斜段相交位置开始，顶硅层下方的掩埋绝缘体层被腐蚀掏空，于是第二贴合段贴合固定在硅衬底上，倾斜段上制作有耦合光栅，光纤放置在耦合光栅的上方。采用这种结构的光栅耦合器与外部光纤进行耦合，不仅降低了二阶反射，提高了耦合效率，而且由于其制作方法简单和垂直耦合的特性更加便于芯片的检测与封装，便于大规模集成。
