[00286149]一种凸点下金属化层构件及制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他电气自动化
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610953957.7
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
江苏科技大学
进入空间
所在地：江苏镇江市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供一种凸点下金属化层构件及制备方法，所述构件包括位于半导体衬底金属焊盘上方的第一层金属、位于所述第一层金属上方的第二层金属、位于所述第二层金属上方的第三层金属，其中所述第二层金属与所述第三层金属经过金属热处理工艺后，形成第二层金属与第三层金属的合金层；位于所述合金层上方的第四层金属。还公开了凸点下金属化层的制备方法。本发明公开的凸点下金属化层(UBM)构件简单、制备方法便捷，且能明显抑制界面处Cu‑Sn‑Zn金属间化合物的生长，并能显著提高UBM层焊料连接的抗冲击性能和电子器件可靠性，最优情况下能延长电子元器件一倍以上的使用寿命。
本发明提供一种凸点下金属化层构件及制备方法，所述构件包括位于半导体衬底金属焊盘上方的第一层金属、位于所述第一层金属上方的第二层金属、位于所述第二层金属上方的第三层金属，其中所述第二层金属与所述第三层金属经过金属热处理工艺后，形成第二层金属与第三层金属的合金层；位于所述合金层上方的第四层金属。还公开了凸点下金属化层的制备方法。本发明公开的凸点下金属化层(UBM)构件简单、制备方法便捷，且能明显抑制界面处Cu‑Sn‑Zn金属间化合物的生长，并能显著提高UBM层焊料连接的抗冲击性能和电子器件可靠性，最优情况下能延长电子元器件一倍以上的使用寿命。
