[00284694]一种L10-FePt颗粒薄膜的制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
化工生产
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201010585896.6
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
吉林师范大学
进入空间
所在地:吉林四平市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:一种L10-FePt颗粒薄膜的制备方法,涉及利用磁场预退火制备高有序度的L10-FePt颗粒薄膜的方法。本发明降低了FePt薄膜的有序化温度、促进L10-FePt薄膜的(001)织构生长、提高了磁性能;步骤一、在室温下,采用直流磁控溅射法在基片上制备FeAg纳米薄膜;步骤二、将步骤一制备的FeAg纳米薄膜置于磁场中进行真空退火,获得退火后的FeAg纳米薄膜;步骤三、将步骤二获得退火后的FeAg纳米薄膜在室温下采用直流磁控溅射沉积Pt层后进行无磁场真空退火,获得L10-FePt/Ag薄膜。本发明所述方法可在任意基片上形成高有序度的、小晶粒尺寸的、晶粒间磁相互作用小的高性能L10-FePt/Ag薄膜。
摘要:一种L10-FePt颗粒薄膜的制备方法,涉及利用磁场预退火制备高有序度的L10-FePt颗粒薄膜的方法。本发明降低了FePt薄膜的有序化温度、促进L10-FePt薄膜的(001)织构生长、提高了磁性能;步骤一、在室温下,采用直流磁控溅射法在基片上制备FeAg纳米薄膜;步骤二、将步骤一制备的FeAg纳米薄膜置于磁场中进行真空退火,获得退火后的FeAg纳米薄膜;步骤三、将步骤二获得退火后的FeAg纳米薄膜在室温下采用直流磁控溅射沉积Pt层后进行无磁场真空退火,获得L10-FePt/Ag薄膜。本发明所述方法可在任意基片上形成高有序度的、小晶粒尺寸的、晶粒间磁相互作用小的高性能L10-FePt/Ag薄膜。