[00281554]一种类金刚石镀膜制备设备
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
实用新型专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201720039885.5
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
凯里学院
进入空间
所在地：贵州黔东南苗族侗族自治州
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本实用新型提供一种类金刚石镀膜制备设备，包括真空腔体、伴热装置、扩散器、流量控制器；其中，所述流量控制器一端设有导入管，另一端设有第一导出管，所述第一导出管与所述扩散器导通；所述扩散器通过第二导出管与所述真空腔体导通，所述伴热装置分别设置于所述第一导出管和所述第二导出管上。通过增加扩散器以及伴热装置，实现类金刚石镀膜制制备过程中液态前驱物的掺杂，从而提高了热稳定性，降低了薄膜的内应力，进一步地，通过设置清洗装置，将基片的清洗环节与类金刚石镀膜制备整合在一起，进一步提高了制备的效率。
摘要：本实用新型提供一种类金刚石镀膜制备设备，包括真空腔体、伴热装置、扩散器、流量控制器；其中，所述流量控制器一端设有导入管，另一端设有第一导出管，所述第一导出管与所述扩散器导通；所述扩散器通过第二导出管与所述真空腔体导通，所述伴热装置分别设置于所述第一导出管和所述第二导出管上。通过增加扩散器以及伴热装置，实现类金刚石镀膜制制备过程中液态前驱物的掺杂，从而提高了热稳定性，降低了薄膜的内应力，进一步地，通过设置清洗装置，将基片的清洗环节与类金刚石镀膜制备整合在一起，进一步提高了制备的效率。
