[00271984]单方向发射的光泵浦氮化物回音壁激光器及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
光学仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201510667065.6
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
南京邮电大学
进入空间
所在地：江苏南京市
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种单方向发射的光泵浦氮化物回音壁激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备非对称氮化物悬空薄膜微腔，在合适的光泵浦条件下，获得单方向发射的回音壁模激光。
本发明公开了一种单方向发射的光泵浦氮化物回音壁激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备非对称氮化物悬空薄膜微腔，在合适的光泵浦条件下，获得单方向发射的回音壁模激光。
