[00265661]基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量方法及测量装置
交易价格：
面议
所属行业：
实验仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201710011842.0
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
四川大学
进入空间
所在地：四川成都市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量方法及测量装置，通过调整M1反射镜与样品平面之间的角度，使激光束光程发生变化，从而使干涉条纹产生移动，再依据本发明提供的公式计算得到待测样品的厚度；由于该测量方法需要控制的物理量仅为M1反射镜与样品平面之间的角度，测量误差极小，在简化了测量过程的同时，提高了样品厚度测量精度；用于实现上述测量方法的测量装置，由于测量原理简单且不需要高精度的昂贵仪器，因此可以将光路组件集成在一体化的装置内，设计成小型化的便携装置。
本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量方法及测量装置，通过调整M1反射镜与样品平面之间的角度，使激光束光程发生变化，从而使干涉条纹产生移动，再依据本发明提供的公式计算得到待测样品的厚度；由于该测量方法需要控制的物理量仅为M1反射镜与样品平面之间的角度，测量误差极小，在简化了测量过程的同时，提高了样品厚度测量精度；用于实现上述测量方法的测量装置，由于测量原理简单且不需要高精度的昂贵仪器，因此可以将光路组件集成在一体化的装置内，设计成小型化的便携装置。
