[00252726]一种运动平台及光路安装调节的装置和方法
交易价格:
面议
所属行业:
控制系统
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610770533.7
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
科小易
进入空间
所在地:福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明属于光学技术领域,公开了一种运动平台及光路安装调节的装置和方法,其中,装置包括:基准器件、运动平台、调节件、螺纹副、固定件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜;方法为:固定基准器件;在基准器件的下方放置运动平台;通过样品台沿旋转轴和直线轴的运动,结合样品台上的特征点在CCD中的成像,以基准点为参照物进行判断,通过调节螺纹副推进调节件,实现对运动平台安装位置的调节;通过样品台沿Z轴方向上下移动,结合入射光束在CCD中的成像,以基准点为参照物进行判断,通过调节反射镜实现对光路进行调节。本发明实现了运动平台及光路安装位置的精细调节。
本发明属于光学技术领域,公开了一种运动平台及光路安装调节的装置和方法,其中,装置包括:基准器件、运动平台、调节件、螺纹副、固定件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜;方法为:固定基准器件;在基准器件的下方放置运动平台;通过样品台沿旋转轴和直线轴的运动,结合样品台上的特征点在CCD中的成像,以基准点为参照物进行判断,通过调节螺纹副推进调节件,实现对运动平台安装位置的调节;通过样品台沿Z轴方向上下移动,结合入射光束在CCD中的成像,以基准点为参照物进行判断,通过调节反射镜实现对光路进行调节。本发明实现了运动平台及光路安装位置的精细调节。