[00252722]一种多光源扫描检测方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他电子信息
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610688833.0
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
科小易
进入空间
所在地：福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明属于扫描检测技术领域，公开了一种多光源扫描检测方法，样品台表面呈圆形分布；光源为两个，所述两个光源成线性排列，且与所述样品台的半径重合；所述样品台围绕其圆心以恒定角速度转动；所述样品台以所述恒定角速度转动的同时，所述样品台沿所述光源的排列方向以恒定线速度平移。本发明提高了扫描效率和稳定性，提高了定位精度。
本发明属于扫描检测技术领域，公开了一种多光源扫描检测方法，样品台表面呈圆形分布；光源为两个，所述两个光源成线性排列，且与所述样品台的半径重合；所述样品台围绕其圆心以恒定角速度转动；所述样品台以所述恒定角速度转动的同时，所述样品台沿所述光源的排列方向以恒定线速度平移。本发明提高了扫描效率和稳定性，提高了定位精度。
