[00239130]钒酸钇单晶片的批量加工工艺
交易价格:
面议
所属行业:
其他
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN02132893.5
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
四川钒钛产业技术研究院
进入空间
所在地:四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
钒酸钇单晶片的批量加工工艺,用X射线定向仪对钒酸钇单晶材料定向,用蜡把钒酸钇单晶材料固定好,用切割机切出钒酸钇晶片;选用窄于钒酸钇单晶片厚度的玻璃条,把所要上盘的晶片和玻璃条均匀涂上蜡,玻璃条摆成许多小方格,把晶片放入小方格中;用磨棒在晶片之间的沟滑动;在二轴机或四轴上用W20的金刚砂进行粗磨,用W7的金刚砂进行精磨,再进行抛光。先用氧化铈进行初抛,再用SiO 2 14—16%、Na0.3%、其它杂质0.01%、其余量为水的抛光液精抛。形成了整体上盘,整体倒角,解决了倒角难题,大幅度降低产品成本,大大提高产品的质量和生产效率。
钒酸钇单晶片的批量加工工艺,用X射线定向仪对钒酸钇单晶材料定向,用蜡把钒酸钇单晶材料固定好,用切割机切出钒酸钇晶片;选用窄于钒酸钇单晶片厚度的玻璃条,把所要上盘的晶片和玻璃条均匀涂上蜡,玻璃条摆成许多小方格,把晶片放入小方格中;用磨棒在晶片之间的沟滑动;在二轴机或四轴上用W20的金刚砂进行粗磨,用W7的金刚砂进行精磨,再进行抛光。先用氧化铈进行初抛,再用SiO 2 14—16%、Na0.3%、其它杂质0.01%、其余量为水的抛光液精抛。形成了整体上盘,整体倒角,解决了倒角难题,大幅度降低产品成本,大大提高产品的质量和生产效率。