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[00239073]波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201410230674.0

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 四川钒钛产业技术研究院

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所在地:四川攀枝花市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法,本发明涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。本发明是要解决现有的VO 2 薄膜在可见光区的透过率低的技术问题,本发明的波纹结构二氧化钒薄膜,由基片和附着在基片表面的二氧化钒层组成,其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。制法:一、利用射频磁控溅射方法在基片表面制备V 2 O 5 薄膜;二、热处理使V 2 O 5 转变成VO 2 薄膜;三、离子束溅射自组装,得到波纹结构的VO 2 薄膜。本发明的波纹结构二氧化钒薄膜在见光透过率最高接近70%,可作为智能窗使用,而且薄膜具有重复率高,方法简单的特点,适合工业化生产。
波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法,本发明涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。本发明是要解决现有的VO 2 薄膜在可见光区的透过率低的技术问题,本发明的波纹结构二氧化钒薄膜,由基片和附着在基片表面的二氧化钒层组成,其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。制法:一、利用射频磁控溅射方法在基片表面制备V 2 O 5 薄膜;二、热处理使V 2 O 5 转变成VO 2 薄膜;三、离子束溅射自组装,得到波纹结构的VO 2 薄膜。本发明的波纹结构二氧化钒薄膜在见光透过率最高接近70%,可作为智能窗使用,而且薄膜具有重复率高,方法简单的特点,适合工业化生产。

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