[00239073]波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201410230674.0
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
四川钒钛产业技术研究院
进入空间
所在地:四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法,本发明涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。本发明是要解决现有的VO 2 薄膜在可见光区的透过率低的技术问题,本发明的波纹结构二氧化钒薄膜,由基片和附着在基片表面的二氧化钒层组成,其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。制法:一、利用射频磁控溅射方法在基片表面制备V 2 O 5 薄膜;二、热处理使V 2 O 5 转变成VO 2 薄膜;三、离子束溅射自组装,得到波纹结构的VO 2 薄膜。本发明的波纹结构二氧化钒薄膜在见光透过率最高接近70%,可作为智能窗使用,而且薄膜具有重复率高,方法简单的特点,适合工业化生产。
波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法,本发明涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。本发明是要解决现有的VO 2 薄膜在可见光区的透过率低的技术问题,本发明的波纹结构二氧化钒薄膜,由基片和附着在基片表面的二氧化钒层组成,其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。制法:一、利用射频磁控溅射方法在基片表面制备V 2 O 5 薄膜;二、热处理使V 2 O 5 转变成VO 2 薄膜;三、离子束溅射自组装,得到波纹结构的VO 2 薄膜。本发明的波纹结构二氧化钒薄膜在见光透过率最高接近70%,可作为智能窗使用,而且薄膜具有重复率高,方法简单的特点,适合工业化生产。